'반도체 생명수' 초순수 연구시설 2030년 조성…지자체 후보지 공모

▲초순수 플랫폼센터 시설 계획 (환경부)

환경부가 '반도체 생명수'로 불리는 초순수 기술개발·인력양성 등을 위한 '국가 초순수 플랫폼센터' 조성 계획과 관련해 기준에 맞는 부지를 가진 지방자치단체를 대상으로 24일부터 7월 8일까지 15일간 입지 선정 공모에 나선다.

환경부는 23일 "초순수 산업의 기술혁신을 이끄는 복합기능 연구시설이 2030년에 조성된다"며 이같이 밝혔다. 환경부는 이번 공모를 통해 지자체로부터 관련 유치의향서 접수 후 신청 요건의 적합 유무와 사업 연계성, 정주 환경 등 평가 기준에 따라 최적 입지 1곳을 선정해 고시할 계획이다.

초순수는 반도체 제조 각 공정(웨이퍼 제조, 포토, 식각) 등 과정의 세정에 사용된다. 반도체 품질과 수율(웨이퍼 1장당 정품 칩 생산 비율)을 좌우하는 핵심 요소 중 하나인 초순수의 생산을 위해서는 물속에 포함된 불순물(이온, 유기물, 미생물, 미립자, 기체 등)의 농도를 낮은 값으로 억제하는 고난도 수처리 기술이 필요하다.

해당 기술은 일본 등 일부 선진국이 보유하고 있으며, 우리나라는 현재까지 초순수 생산 기술을 여전히 해외기업에 의존하고 있다. 국가 주력산업인 반도체 분야의 초격차 확보를 위해서는 초순수 생산기술 국산화를 통해 국내외 환경에 구애받지 않고 초순수를 안정적으로 공급할 능력을 확보해야 한다는 것이 환경부의 설명이다.

환경부는 2021년부터 초순수 생산기술을 국산화하기 위한 연구개발(R&D)를 추진했으며, 반도체 산업 성장으로 수요 증가가 예상되는 초순수 생산 기술 개발 및 관련 산업 육성을 위해 △초순수 기술개발 △수질분석 △실증·검증 및 교육시설 등이 직접된 '국가 초순수 플랫폼센터'를 2030년까지 구축할 계획이다.

모든 지자체가 입지 공모에 참여할 수 있는 것은 아니다.

입지 조건 부지는 '물관리기술 발전 및 물산업 진흥에 관한 법률 시행령' 내 △건물 바닥면적 1만7664㎡ 확보 가능 △공업용수 3120㎥/일 확보 가능 △전기용량 1만300kW 및 전력량 492만4155kWh/월 사용 가능 △폐수배출시설 1종 시설 설치 가능 △2027년 이전 착공 가능 △첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30km 이내 지역 등 6가지 조건을 충족해야 한다.

환경부는 후보지 공모 이후 관련 분야 전문가 등을 중심으로 입지 선정 평가위원회를 구성해 지원한 후보지에 대한 평가를 진행하고, 최적 후보지가 선정되면 주민 및 관계 행정기관 의견 수렴을 거쳐 최종 입지를 결정한다. 센터는 △소재·부품·장비 시험센터 △초순수 실증설비(플랜트) △분석센터 △폐수 재이용 기술센터 △연구개발·기업지원·인재양성센터 등을 포함한 5개 시설로 구성된다.

이승환 환경부 물이용정책관은 "초순수 플랫폼센터를 유치하면 해당 지자체의 경제 활성화 효과도 기대할 수 있다"며 "환경부는 국가 초순수 경쟁력 강화 및 관련 산업 진흥을 위한 지원을 지속하겠다"고 밝혔다.