경원테크, 반도체 공정 소프트웨어 국산화 성공

입력 2013-08-13 13:00

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국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어 국산화에 성공했다.

미래창조과학부는 경원테크가 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료, 공급계약을 맺었다고 12일 밝혔다.

K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이 션하는 소프트웨어로 반도체 공정 중 식각(박막이 형성된 표면을 깎아 불필요한 부분을 제거해 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정) 및 증착(실리콘 기판위에 얇은 막을 입히는 과정)공정을 사전에 시뮬레이션해 실제 공정 결과를 예측하는 프로그램이다.

경원테크는 GPU기반의 병렬화 성공을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 획기적인 계산시간 단축에 성공했다. 또 기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산했다.

이번 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능 해져 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다. 특히 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사 공정 기술의 해외 유출을 방지해 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에도 기여 할 전망이다.

서광원 경원테크 대표는 "K-Speed는 향후 다수의 국내외 기업으로의 판매가 예상돼 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다"고 말했다.