한성크린텍, 日 독점 초순수 국산화 속도…국책과제 2단계 돌입

입력 2023-08-25 09:18

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이엔코퍼레이션 자회사 한성크린텍이 일본이 독점하고 있는 초순수 국산화에 속도를 내고 있다.

25일 한성크린텍 관계자는 “초순수 국산화 국책과제 2단계인 실증플랜트의 기자재 국산화 설비 준비가 차질없이 진행되고 있다”며 “연내 성능 테스트 계획을 가지고 있다”고 밝혔다.

한성크린텍은 5월 순수 국내 기술로 설계, 시공을 완료한 초순수 국산화 1단계 설비로 반도체 원재료인 웨이퍼(Wafer) 공장에 초순수를 성공적으로 공급했다. 이어 2단계로 초순수 생산을 위한 주요 기자재 중 이온 교환수지, 탈기막(TOC-UV, MDG)을 국산화 업체와 협업해 10월부터 성능을 검증할 예정이다.

이를 통해 일본기업이 독점하고 있는 초순수 제조 공정 국산화와 더불어 핵심 소ㆍ부ㆍ장까지도 국산화해 기술 자립화 및 국외 진출까지 발판 마련을 기대할 수 있다.

한성크린텍은 지난해 11월 SK실트론으로부터 836억 원 규모의 대용량 초순수제조설비 EPC(설계ㆍ구매ㆍ시공) 사업을 수주해 현재까지 차질없이 진행하고 있다. 국책과제 실증플랜트에 이어 본 공정에서의 적용까지 성공의 기대감을 높이고 있다.

한편 이엔코퍼레이션은 100% 자회사인 한성크린텍과 합병을 이달 4일 발표했다. 회사 측은 “이번 합병을 통해 초순수 국산화 및 환경 사업에 더욱 힘을 실을 예정이다. 핵심사업에 대한 전문역량 강화를 도모하고 기존 조직을 유지하면서 안정감 및 관리 효율 증대 등을 통해 사업의 경쟁력을 높이겠다”고 강조했다.