어플라이드머티어리얼즈, 빅데이터·AI로 효율성 향상 공정제어 솔루션 공개

입력 2021-04-20 14:54

(사진제공=어플라이드머이터리얼즈)

반도체 장비업체 어플라이드머티어리얼즈가 빅데이터와 인공지능(AI) 기술을 활용한 혁신적인 공정 제어 시스템을 공개했다.

이 시스템은 반도체 제조사가 반도체 칩 개발 및 생산 체계 도달 시간을 단축해 보다 많은 수익을 창출하도록 지원한다.

이날 어플라이드머티어리얼즈가 새롭게 공개한 솔루션은 △‘인라이트(Enlight)’ 광학 웨이퍼 검사 시스템 △‘익스트랙트AI(ExtractAI)’ 기술 △’SEM비전(SEMVision)’ 전자빔 리뷰 시스템의 세 가지로 구성된다.

5년간의 개발 기간을 거친 새로운 인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템은 업계 최고 수준의 고해상도∙고속 검사 기술을 결합한 장비로서 첨단 광학 기술을 통해 스캔당 더 많은 데이터를 수집한다.

인라이트 시스템 아키텍처는 경제적이고 효율적인 광학 검사를 제공해 경쟁사에 비해 치명적인 결함을 포착하는 데 투입되는 비용을 3배 절감할 수 있다.

반도체 제조사는 인라이트 시스템을 통해 비용 부분을 개선해 공정 중에 더 많은 검사 단계를 넣을 수 있다. 또 시스템에서 얻어진 빅데이터로 수율 저하 요소를 보다 빨리 예측함으로써 통계적 공정 방식인 ‘라인 모니터링’을 개선할 수 있다.

또 수율 저하 요소를 즉시 감지함으로써 문제 발생 시 공정을 중단해 수율을 보호하고 근본 원인을 추적함으로써 공정 개선 시간을 단축해 양산 체계로 빠르게 복귀할 수 있도록 도와준다.