RFHIC, 마이크로웨이브 제너레이터 연내 양산 추진…신사업 확장 안착하나

통신 전력 증폭기 제조 기업 RFHIC(알에프에이치아이씨)가 추진 중인 반도체 전공정 장비의 양산 시설이 이르면 올해 구축된다. RFHIC가 마이크로웨이브 제너레이터를 새롭게 양산하면 통신 전력 증폭기 사업과 견줄 신성장 동력이 될 전망이다.

4일 본지 취재를 종합하면 RFHIC가 개발 중인 반도체 기반 마이크로웨이브 제너레이터가 이르면 연내 양산된다.

RFHIC 관계자는 "올해 4분기 양산을 목표로 준비 중에 있다"라며 "반도체와 방산 분야에 적용가능할 것으로 본다"고 말했다.

마이크로웨이브 제너레이터는 높은 주파수와 짧은 파장을 갖춘 마이크로파를 생성하는 장치다. 물질을 가열하는 데 쓰이는 전자레인지에서부터 반도체, 의료 등 다양한 산업에 활용된다.

반도체 산업에서는 플라즈마를 생성하는 장치로 쓰이는데, 플라즈마는 기체 상태에서 추가로 에너지를 인가해 만들어지는 제4의 물질 상태로 불린다. 웨이퍼에서 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 깎는 식각, 화학반응을 일으켜 웨이퍼 표면에 박막을 증착하는 화학기상증착(CVD) 등의 반도체 전공정에 적용되고 있다.

RFHIC의 마이크로웨이브 제너레이터는 플라즈마 생성 방식이 기존 방식과 다르다고 한다. 일반적인 마이크로웨이브 제너레이터는 고주파를 발생시키는 진공관의 일종인 마그네트론을 활용해왔다. 반면 RFHIC의 제너레이터는 트랜지스터를 기반으로 한 반도체 방식이다. 트랜지스터는 전자 신호 및 전력을 증폭하거나 스위칭 역할을 하는 반도체 소자다.

반도체 방식의 제너레이터는 기존 진공관 방식 대비 기기 소형화에 유리하고 사용 수명이 10배가량 길다. 주파수를 안정적으로 제어할 수 있어 높은 정밀성이 요구되는 반도체 장비 산업에 적합한 것으로 알려졌다.

RFHIC의 기존 사업과 시너지 효과도 창출할 수 있다. RFHIC는 질화갈륨(GaN) 기반의 트랜지스터 및 전력증폭기를 자체 개발 및 생산하고 있다. 때문에 마이크로웨이브 제너레이터에 필요한 핵심 부품을 효율적으로 조달할 수 있다.

RFHIC의 지난해 실적이 급감하며 새 먹거리가 절실해졌다. 연간 매출액은 1080억 원으로 전년 대비 6.4% 증가했지만, 영업이익은 약 7억 원으로 84.1% 감소했다. 회사 측은 "프로젝트 원가 정산에 따른 이익 감소"라고 설명했다.

기존 사업에서의 수익성이 악화하며 새로운 사업 확장을 꾀하는 것이다.